моделирование процесса ионного легирования для повышения качества зеркал, в том числе для многослойных диэлектрических зеркал лазерных гироскопов

Достижение поставленной цели определяет необходимость решения ряда последовательных задач:

- изучить процесс ионного легирования и ионной имплантации;

- охарактеризовать характеристики многослойных диэлектрических зеркал и их применение в лазерных гироскопах;

- определить роль ионного легирования в улучшении качества зеркал;

- сравнить процесс ионного легирования с ионным напылением/распылением;

- провести эксперимент с образцами многослойных зеркал.

В процессе работы изучено влияние тонких прослоек бериллия и карбида бора на границах на отражательные характеристики многослойных зеркал Mo/Si, оптимизированных на длину волны 13,5 нм. Продемонстрирована возможность увеличения коэффициента отражения на 1,9% в абсолютном выражении (на 2,8% в относительном), и спектральной полосы отражения на 5,6%. Синтезированы и изучены структурные, рентгенооптические характеристики и временная стабильность Be/Al многослойных зеркал, оптимизированных на диапазон длин волн 17,1–30,4 нм. На длине волны 17,1 нм на структуре Be/Si/Al получен рекордный коэффициент отражения 62,5% и спектральная ширина 0,3 нм. Показан эффект сглаживания межслоевых границ с помощью Si прослоек в МЗ Be/Al в диапазоне толщин Al 4–15 нм. Показана высокая временная стабильность этих структур.

Введение

1. Основы ионного легирования и ионной имплантаци

1.1. Определение ионного легирования и ионной имплантации

1.2. Основные принципы и механизмы процессов

1.3. Технологии и оборудование для ионного легирования и имплантации

2. Многослойные диэлектрические зеркала

2.1. Определение и характеристики многослойных диэлектрических зеркал

2.2. Применение в лазерных гироскопах

2.3. Процессы потерь и рассеяния в многослойных зеркалах

3. Ионное легирование и профилирование поверхности

3.1. Роль ионного легирования в улучшении качества зеркал

3.2. Влияние профилирования поверхности на потери и рассеяние

3.3. Методы и технологии ионного легирования

4. Сравнение ионного легирования с ионным напылением/распылением

4.1. Особенности ионного легирования по сравнению с альтернативными методами

4.2. Преимущества и недостатки каждого метода

4.3. Сравнительный анализ результатов исследований

5. Экспериментальная часть

5.1. Описание экспериментов и исследований

5.2. Подготовка образцов многослойных зеркал

5.3. Методы измерения потерь и рассеяния

Заключение

Список использованных источников

1.             Авершин А.А. Исследование добротности оптической системы кольцевого моноблочного лазерного гироскопа с полупроводниковым лазерным диодом // Журнал Молодёжь и будущее авиации и космонавтики. 2018 г. (https://elibrary.ru/item.asp?id=37057543)

....

13.         Makhmudov N, Misirov Sh., Bakhridinov Z., Khusenov A., Gulomov O., Abduganiev Sh. Tribotechnical and mechanical properties of Ti-Al-N nanocomposite coatings obtained by plasma ion implantation and deposition // Журнал Universum: технические науки. 2021 г. (https://elibrary.ru/item.asp?id=45800308)

14.         Молчанов А.В., Чиркин М.В., Серебряков А.Е., Климаков В.В, Дао Х.Н., Мишин В.Ю. Влияние медленных флуктуационных процессов в кольцевом лазере на нестабильность дрейфа лазерного гироскопа // Юбилейная XXV Санкт-петербургская международная конференция по интегрированным навигационным системам. 2018 г.

....

20.         Zhong M., Li J.H., Li B., Tian C.X., Xiang X., Zhou C., Yang W.F. Influence of helium ion implantation on optical properties of fused silica // Zurnal prikladnoj spektroskopii. 2021 г. (https://elibrary.ru/item.asp?id=44889270)